靶材

用于溅射ITO、TCO和蒸镀膜的靶材是通过以下工艺制造的。
我们的超声波焊接技术用于将靶材粘合到背板的过程中。

(1)前处理 靶材掩模、背面处理、清洁、用过的靶材剥离等
(2)贴合 在目标和背板上涂上焊料以将其粘合
(3)翘曲校正 焊料固化后的翘曲校正
(4)检查 测量平衡和附着力
(5)完成 喷砂和抛光
(6)外观检查 确认污渍和划痕
(7)真空包装 层压膜真空包装

靶材的贴合,以前需要使用钢丝刷,在去除材料表面的氧化膜的同时,全面涂布溶解的铟。
由于本公司20年前发起的超声波焊接技术革命,这样的工程可以省略,靶材的贴合变得容易了。
同时,由于生产性飞跃性地提高了,材料损失减少,当然顾客的利益与节能,环境维持的贡献相连着。
现在,在靶材的贴合中应用超声波焊接技术成为业界标准,本公司至今仍在领先。

制品

靶材

加工方法

将溶解的铟(也有使用“Cerasolzer”的情况)放置在母材上,一边用超声波焊材展开一边全面涂布。

装置种类

タ靶材的贴合,以下的装置可以对应。
详情请随时咨询。

SUNBONDER”USM-528

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USK-Bonding-1200

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平面靶材自动涂布机

  • 平面靶材自动涂布机