ターゲット材

ITO、TCO、蒸着膜をスパッタリングするために使用されるターゲット材は以下の工程にて製造されます。
当社の超音波ハンダ付け技術は、ターゲットとバッキングプレートをメタライズする工程で使用されます。

（1）前処理	ターゲットマスク、裏面処理、洗浄、使用済みターゲット剥離等
（2）メタライズ	ターゲット・バッキングプレートにハンダを塗りこみ接合
（3）反り修正	ハンダ凝固後、反り修正
（4）検査	平衡度、接着性を測定
（5）仕上げ	ブラスト処理および研磨
（6）外観検査	汚れ・傷確認
（7）真空パック	ラミネートフィルムにて真空パック

ターゲットのメタライズですが、以前はワイヤブラシを使用して、材料表面の酸化膜を除去しながら、溶解したインジウムを全面に塗布する必要がありました。
こういった工程は、当社が20年前に起こした超音波ハンダ付けの技術革命によって省略が可能となり、ターゲットのメタライズが容易となりました。
また、生産性が飛躍的に向上したことで、材料ロスが減り、お客様の利益はもちろん、省エネルギー、環境維持の貢献に繋がっています。
今では、ターゲット材のメタライズに超音波ハンダ付け技術を適用することは業界標準となり、当社は今もなお、その先頭を走っています。